原子間力顕微鏡一体型加工評価装置の開発(加工用カンチレバーの開発)

• 芦田極

収録刊行物

• 砥粒加工学会誌

  砥粒加工学会誌 41 (7), 225-, 1997

詳細情報

• CRID: 1571980074595898624
• NII論文ID: 10008630105
• データソース種別:
  • CiNii Articles