HREM study of ion implantation in 6H-SiC at high temperatures

• O.I. Lebedev

• G. Van Tendeloo

• A.A. Suvorova

書誌事項

タイトル別名

• HREM study of ion implantation in 6H-Si

収録刊行物

• Journal of electron microscopy

  Journal of electron microscopy 46 (4), 271-279, 1997-08

  Oxford : Published for the Japanese Society of Electron Microscopy by Oxford University Press

詳細情報

• CRID: 1523106604979777024
• NII論文ID: 10008811968
• NII書誌ID: AA00697060
• ISSN: 00220744
• NDL書誌ID: 4317174
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I4317174
• 本文言語コード: en
• NDL 雑誌分類:
  • ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles