触媒CVD技術の大面積次世代ディスプレイへの適用 Application of catalytic chemical vapor deposition to fabrication of next-generation large-area displays

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著者

    • 増田 淳 MASUDA Atsushi
    • 北陸先端科学技術大学院大学材料科学研究科 School of Materials Science, Japan Advanced Institute of Science and Technology
    • 松村 英樹 MATSUMURA Hideki
    • 北陸先端科学技術大学院大学材料科学研究科 School of Materials Science, Japan Advanced Institute of Science and Technology

収録刊行物

  • 應用物理

    應用物理 71(7), 833-838, 2002-07-10

    応用物理学会

参考文献:  32件中 1-32件 を表示

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    被引用文献11件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10008830491
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00026679
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    REV
  • ISSN
    03698009
  • NDL 記事登録ID
    6210587
  • NDL 雑誌分類
    ZM17(科学技術--科学技術一般--力学・応用力学)
  • NDL 請求記号
    Z15-243
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL 
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