研究紹介 アレイアンテナ式大面積VHF-PCVD装置

• 高木 朋子

• 上田 仁

• 伊藤 憲和

書誌事項

タイトル別名

• ケンキュウ ショウカイ アレイ アンテナシキ ダイ メンセキ VHF PCVD ソウチ
• 〔応用物理〕創刊70周年記念特集号--非晶質/応用物理一般
• オウヨウ ブツリ ソウカン 70シュウネン キネン トクシュウゴウ ヒショウシツ オウヨウ ブツリ イッパン

収録刊行物

• 応用物理

  応用物理 71 (7), 874-877, 2002-07

  東京 : 応用物理学会

キーワード

• amorphous silicon
• microcrystalline silicon
• thin film deposition
• large area
• plasma enhanced chemical vapor deposition
• double-sided
• multi-zone

詳細情報

• CRID: 1520290882733673728
• NII論文ID: 10008830617
• NII書誌ID: AN00026679
• ISSN: 03698009
• NDL書誌ID: 6210680
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I6210680
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZM17(科学技術--科学技術一般--力学・応用力学)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles