金属/半導体界面反応のSTEMによる原子直視観察

• 田中 信夫

  名古屋大学工学研究科

• 財満 鎮明

  名古屋大学工学研究科

• 安田 幸夫

  名古屋大学工学研究科

書誌事項

タイトル別名

• Direct Atomistic Observation of Reactions in Metal/Semiconductor Interfaces by STEM

収録刊行物

• まてりあ

  まてりあ 40 (12), 992-992, 2001

  公益社団法人 日本金属学会

キーワード

• high-angle annular dark field-scanning transmission electron microscopy
• metal/semiconductor interface
• Zcontrast
• Ti/Si<SUB>1-x</SUB>Ge<SUB>x</SUB>/Si
• interfacial reactions

詳細情報

• CRID: 1390001204079204864
• NII論文ID: 10008847761
• NII書誌ID: AN10433227
• DOI: 10.2320/materia.40.992
• ISSN: 18845843
• ISSN: 13402625
• Web Site: https://www.jstage.jst.go.jp/article/materia1994/40/12/40_12_992/_pdf
• データソース種別:
  • JaLC
  • Crossref
  • CiNii Articles