64MDRAM-O-N-O膜のナノメーター分析

• 及川 哲夫

  日本電子株式会社

• 川崎 正博

  日本電子株式会社

書誌事項

タイトル別名

• Elemental Analysis of O-N-0 Dielectric in nm-scale

収録刊行物

• まてりあ

  まてりあ 40 (12), 993-993, 2001

  公益社団法人 日本金属学会

キーワード

• 64DRAM
• electron energy loss spectroscopy
• high-angle annular darh field
• dielectric
• elemental analysis
• silicondevice
• nano-scale

詳細情報

• CRID: 1390282679055915648
• NII論文ID: 10008847762
• NII書誌ID: AN10433227
• DOI: 10.2320/materia.40.993
• ISSN: 18845843
• ISSN: 13402625
• Web Site: https://www.jstage.jst.go.jp/article/materia1994/40/12/40_12_993/_pdf
• データソース種別:
  • JaLC
  • Crossref
  • CiNii Articles