64MDRAM-O-N-O 膜のナノメーター分析 Elemental Analysis of O-N-O Dielectric in nm-scale

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収録刊行物

  • まてりあ : 日本金属学会会報

    まてりあ : 日本金属学会会報 40(12), 993, 2001-12-20

    公益社団法人 日本金属学会

参考文献:  2件中 1-2件 を表示

  • <no title>

    PARK K. -H.

    Inst.Phys.Conf.Ser. 146, 575, 1995

    被引用文献2件

  • <no title>

    KAWASAKI M.

    J. Electron Microsc. 47, 477, 1998

    被引用文献4件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10008847762
  • NII書誌ID(NCID)
    AN10433227
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    REV
  • ISSN
    13402625
  • データ提供元
    CJP書誌  J-STAGE 
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