TEM-EDS法による化合物半導体レーザの組成定量評価

  • 岡野 哲之
    株式会社松下テクノリサーチ半導体解析チーム
  • 為藤 さよ子
    株式会社松下テクノリサーチ半導体解析チーム
  • 荒井 美奈
    株式会社松下テクノリサーチ半導体解析チーム
  • 神前 隆
    株式会社松下テクノリサーチ半導体解析チーム
  • 藪内 康文
    株式会社松下テクノリサーチ半導体解析チーム

書誌事項

タイトル別名
  • Quantitative X-ray Spectroscopy of Compound Semiconductor LASER

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収録刊行物

  • まてりあ

    まてりあ 40 (12), 1005-1005, 2001

    公益社団法人 日本金属学会

参考文献 (3)*注記

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