DRAM 用誘電体Ba_xSr1_<1_x>TiO_3スパッタ膜の微細構造 Microstructures of Dielectric Ba_xSr_<1_x>TiO3 Prepared by RF Sputtering

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収録刊行物

  • まてりあ : 日本金属学会会報

    まてりあ : 日本金属学会会報 40(12), 1015, 2001-12-20

    公益社団法人 日本金属学会

参考文献:  2件中 1-2件 を表示

  • <no title>

    MIKAMI N.

    Thin Film Ferroelectric Materials and Devices 44, 1997

    被引用文献1件

  • <no title>

    KUROIWA T.

    Jpn. J. Appl. Phys. 33, 5187, 1994

    被引用文献16件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10008847828
  • NII書誌ID(NCID)
    AN10433227
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    REV
  • ISSN
    13402625
  • データ提供元
    CJP書誌  J-STAGE 
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