水素イオンのチャネリングによる微細コンタクトホール底の欠陥 Defect at Bottom of a High Aspect-ratio Contact Hole Induced Proton Channeling

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収録刊行物

  • まてりあ : 日本金属学会会報

    まてりあ : 日本金属学会会報 40(12), 1035, 2001-12-20

    公益社団法人 日本金属学会

参考文献:  2件中 1-2件 を表示

  • <no title>

    IKEGAMI N.

    Jpn.J.Appl.Phys. 36, 2470, 1997

    被引用文献7件

  • <no title>

    ICHIMORI T.

    Thin Solid Films 374, 228, 2000

    DOI 被引用文献2件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10008847888
  • NII書誌ID(NCID)
    AN10433227
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    REV
  • ISSN
    13402625
  • データ提供元
    CJP書誌  J-STAGE 
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