GaNのドライエッチング技術 Dry etching of GaN

この論文をさがす

著者

収録刊行物

  • 應用物理

    應用物理 69(11), 1337-1338, 2000-11-10

参考文献:  12件中 1-12件 を表示

  • <no title>

    NAKAMURA S.

    Jpn. J. Appl. Phys. 35, L74-L76, 1996

    被引用文献155件

  • <no title>

    PEARTON S. J.

    J.Appl.Phys. 86, 1, 1999

    被引用文献14件

  • <no title>

    ADESIDA I.

    Appl.Phys.Lett. 63, 2777, 1993

    被引用文献7件

  • <no title>

    LIN M. E.

    Appl. Phys. Lett. 64, 887, 1994

    被引用文献9件

  • <no title>

    PEARTON S. J.

    Appl. Phys. Lett. 64, 2294, 1994

    被引用文献7件

  • <no title>

    ZHANG L.

    Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 395, 763, 1996

    被引用文献1件

  • <no title>

    ADESIDA I.

    Appl. Phys. Lett. 65, 889, 1994

    被引用文献5件

  • <no title>

    PING A. T.

    Appl.Phys.Lett. 67, 1250, 1995

    被引用文献6件

  • <no title>

    BOUR D. P.

    Appl. Phys. Lett. 74, 404, 1999

    被引用文献1件

  • <no title>

    MCLANE G. F.

    Appl.Phys.Lett. 66, 3328, 1995

    被引用文献5件

  • <no title>

    中路雅晴

    電子情報通信学会技術研究報告 47, 2000

    被引用文献1件

  • <no title>

    PING A. T.

    Electron. Lett. 30, 1895, 1994

    DOI 被引用文献2件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10008979670
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00026679
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    NOT
  • ISSN
    03698009
  • データ提供元
    CJP書誌 
ページトップへ