最近のSOI(silicon-on-insulator)素子技術 Recent progress of SOI (silicon-on insulator) device technology

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著者

    • 吉見 信 YOSHIMI Makoto
    • (株)東芝セミコンダクター社,システムLSI開発センター System LSI Development Center, Semiconductor Company, Toshiba Corporation

収録刊行物

  • 應用物理

    應用物理 70(2), 165-168, 2001-02-10

    応用物理学会

参考文献:  31件中 1-31件 を表示

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キーワード

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10008980504
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00026679
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    REV
  • ISSN
    03698009
  • NDL 記事登録ID
    5659990
  • NDL 雑誌分類
    ZM17(科学技術--科学技術一般--力学・応用力学)
  • NDL 請求記号
    Z15-243
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL 
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