SiC半導体基板のレーザープロセス Pulsed laser processing on semiconductor substrates

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収録刊行物

  • 應用物理

    應用物理 70(2), 188-190, 2001-02-10

    応用物理学会

参考文献:  6件中 1-6件 を表示

  • <no title>

    宮尾正信

    応用物理 48, 664, 1979

    被引用文献1件

  • <no title>

    村上浩一

    応用物理 50, 866, 1981

    被引用文献1件

  • <no title>

    後藤達美

    電気学会雑誌 108, 1090, 1988

    被引用文献1件

  • Pulsed Laser Processing of Semiconductors

    WOOD R. F.

    Semiconductors and Semimetals 23, Cha 6, 1984

    被引用文献1件

  • <no title>

    中嶋堅志郎

    電子情報通信学会技術報告 67, 2000

    被引用文献1件

  • <no title>

    NAKASHIMA K.

    Mater. Science Forum 338-342, 1005, 2000

    被引用文献1件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10008980619
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00026679
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    NOT
  • ISSN
    03698009
  • NDL 記事登録ID
    5660521
  • NDL 雑誌分類
    ZM17(科学技術--科学技術一般--力学・応用力学)
  • NDL 請求記号
    Z15-243
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL 
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