軟X線ミラー用短周期超格子の成長 Epitaxial growth of short-period metallic superlattices for soft-X-ray mirrors

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抄録

現在多用されているスパッタ蒸着アモルファス短周期多層膜を用いた高角入射軟X線ミラーはすでにその性能の限界に達しており,反射性能の向上のためのブレークスルーが求められている.この課題を解決するため,最近,原子層エピタキシー法による半導体系短周期超格子の軟X線ミラーへの応用が試みられ,また従来は適用が困難であった通常の分子線エピタキシー法を基礎として,各種元素の組み合わせの検討により困難を克臓したAI系短周期金属超格子の軟X線ミラーへの適用が検討されており,展望が開けてきた。本稿では,これら超格子の特徴,成長・構造ならびにその軟X線ミラーへの応用の可能性について報告する.

収録刊行物

  • 應用物理

    應用物理 70(4), 428-432, 2001-04-10

    The Japan Society of Applied Physics

参考文献:  22件中 1-22件 を表示

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10008980939
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00026679
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    REV
  • ISSN
    03698009
  • NDL 記事登録ID
    5730413
  • NDL 雑誌分類
    ZM17(科学技術--科学技術一般--力学・応用力学)
  • NDL 請求記号
    Z15-243
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL  J-STAGE 
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