ラダー電極を用いた大面積均一VHFプラズマの生成と製膜への応用 Production of large-area uniform VHF plasma with ladder electrodes

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  • 應用物理

    應用物理 70(4), 438-442, 2001-04-10

    応用物理学会

参考文献:  19件中 1-19件 を表示

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被引用文献:  1件中 1-1件 を表示

  • バラン給電法によるVHFプラズマの特性

    水野 健太 , 松岡 正典 , 牟田 浩司 , 西田 哲 , 栗林 志頭眞 , 竹内 良昭 , 山内 康弘 , 高塚 汎

    電気学会研究会資料. PST, プラズマ研究会 2010(48), 29-32, 2010-08-11

    参考文献8件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10008980980
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00026679
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    REV
  • ISSN
    03698009
  • NDL 記事登録ID
    5730542
  • NDL 雑誌分類
    ZM17(科学技術--科学技術一般--力学・応用力学)
  • NDL 請求記号
    Z15-243
  • データ提供元
    CJP書誌  CJP引用  NDL 
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