VHF駆動によるマイクロプラズマの生成技術とマイクロ化学分析システムへの応用 Production of VHF driven microplasmas and its application to micro total analysis systems

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  • 應用物理

    應用物理 70(4), 452-453, 2001-04-10

    The Japan Society of Applied Physics

参考文献:  9件中 1-9件 を表示

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10008981036
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00026679
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    NOT
  • ISSN
    03698009
  • データ提供元
    CJP書誌  J-STAGE 
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