VHF駆動によるマイクロプラズマの生成技術とマイクロ化学分析システムへの応用 Production of VHF driven microplasmas and its application to micro total analysis systems

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應用物理  

應用物理 70(4), 452-453, 2001-04-10 

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各種コード

  • NII論文ID(NAID) :
    10008981036
  • NII書誌ID(NCID) :
    AN00026679
  • 本文言語コード :
    JPN
  • 資料種別 :
    NOT
  • ISSN :
    03698009
  • 収録DB :
    CJP書誌