プラズマ源I(無磁場) Nonmagnetized plasma source

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  • 應用物理

    應用物理 70(4), 460-464, 2001-04-10

    応用物理学会

参考文献:  19件中 1-19件 を表示

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    SUZUKI K.

    Plasma Source Sci. & Technol. 7, 13, 1998

    被引用文献1件

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    SETSUHARA Y.

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    菅井秀郎編著

    プラズマエレクトロニクス, 2000

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    ZHELYAZKOV I.

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    KOMACHI K.

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    KIMURA T.

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    V. E. ゴラント

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    ODROBINA I.

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    DOI 被引用文献5件

  • Optical Emission and Microwave Field Intensity Measurements in Surface Wave-Excited Planar Plasma

    Nagatsu Masaaki , Xu Ge , Yamage Masashi , Kanoh Masaaki , Sugai Hideo

    Japanese journal of applied physics. Pt. 2, Letters 35(3A), L341-L344, 1996-03-01

    応用物理学会 J-STAGE 参考文献17件 被引用文献41件

  • 6. 表面波プラズマの大口径化

    永津 雅章 , 菅井 秀郎

    プラズマ・核融合学会誌 = Journal of plasma and fusion research 72(7), 658-662, 1996-07-25

    参考文献6件 被引用文献8件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10008981074
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00026679
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    REV
  • ISSN
    03698009
  • NDL 記事登録ID
    5730671
  • NDL 雑誌分類
    ZM17(科学技術--科学技術一般--力学・応用力学)
  • NDL 請求記号
    Z15-243
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL 
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