プラズマ診断法 : 種々のプローブ法・質量分析法 Plasma diagnostic techniques : Various probes and mass spectrometry

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  • 應用物理

    應用物理 70(6), 703-706, 2001-06-10

    応用物理学会

参考文献:  24件中 1-24件 を表示

  • <no title>

    HUDDLESTONE R. H.

    Plasma Diagnostic Techniques Chap. 4, 1965

    被引用文献1件

  • <no title>

    DRUYVESTEYN M. J.

    Z.Phys. 64, 790, 1930

    被引用文献6件

  • <no title>

    KIMURA T.

    Jpn.J.Appl.Phys. 32, 3601, 1993

    被引用文献5件

  • <no title>

    LANGMUIR I.

    Rev. Mod. Phys. 3, 191, 1931

    被引用文献1件

  • <no title>

    DEGUCHI M.

    Jpn. J. Appl. Phys. 37, 970, 1998

    被引用文献6件

  • <no title>

    SHIRAKAWA T.

    Jpn. J. Appl. Phys. 32, 5129, 1993

    被引用文献10件

  • <no title>

    KOKURA H.

    Jpn. J. Appl. Phys. 38, 5262, 1999

    被引用文献16件

  • <no title>

    BACAL M.

    Rev. Sci. Instrum. 50, 719, 1979

    被引用文献12件

  • <no title>

    MIENO T.

    Jpn. J. Appl. Phys. 33, 4325, 1994

    被引用文献7件

  • <no title>

    SASAKI K.

    Jpn. J. Appl. Phys. 36, 1282, 1997

    被引用文献11件

  • <no title>

    SUGAI H.

    J. Vac. Sci. Technol. A 10, 1193, 1992

    被引用文献14件

  • <no title>

    HIKOSAKA Y.

    Jpn.J.Appl.Phys. 32, L353, 1993

    被引用文献21件

  • <no title>

    TOYODA H.

    Appl. Phys. Lett. 54, 1507, 1989

    被引用文献9件

  • <no title>

    GOTO M.

    Jpn.J.Appl.Phys. 36, 3714, 1997

    被引用文献9件

  • <no title>

    NAKANO T.

    J.Phys.D 26, 1909, 1993

    被引用文献3件

  • <no title>

    BAIOCCHI F. A.

    Phys. Rev. Lett. 53, 771, 1984

    被引用文献3件

  • <no title>

    HAYES T. R.

    J. Chem. Phys. 88, 823, 1988

    被引用文献2件

  • <no title>

    STOFFELS E.

    Rev. Sci. Instrum. 69, 116, 1998

    被引用文献6件

  • <no title>

    IIO M.

    Contrib. Plasma Phys. 35, 405, 1995

    DOI 被引用文献4件

  • <no title>

    TARNOVSKY V.

    J. Chem. Phys. 98, 7868, 1993

    DOI 被引用文献11件

  • <no title>

    TARNOVSKY V.

    Int. J. Mass. Spectrom. Ion Processes 128, 181, 1993

    DOI 被引用文献7件

  • <no title>

    TARNOVSKY V.

    J.Chem.Phys. 105, 6315, 1996

    DOI 被引用文献3件

  • <no title>

    HAYES T. R.

    J. Chem. Phys. 89, 4035, 1988

    DOI 被引用文献2件

  • <no title>

    SHUL R. J.

    J. Chem. Phys. 89, 4042, 1988

    DOI 被引用文献2件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10008981418
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00026679
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    REV
  • ISSN
    03698009
  • NDL 記事登録ID
    5784138
  • NDL 雑誌分類
    ZM17(科学技術--科学技術一般--力学・応用力学)
  • NDL 請求記号
    Z15-243
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL 
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