プロセスプラズマの分光計測 Spectroscopic diagnostics of procressing plasmas

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抄録

プロセスプラズマのモニターとして発光分光法は,簡単でありながらさまざまの情報が得られるため,最も広く用いられている.最近,微量の希ガスをトレーサーとして放電ガスに添加することで,発光分光法により粒子密度や電子のエネルギー分布関数を定量的に求める方法が開発されてきている.本稿では,その概要と現状について述べる.また,これと関連したレーザー分光計測法として,レーザー吸収法,レーザー誘起蛍光法およびレーザートムソン散乱法の概要についても述べる.

収録刊行物

  • 應用物理

    應用物理 70(7), 864-867, 2001-07-10

    The Japan Society of Applied Physics

参考文献:  23件中 1-23件 を表示

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10008981692
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00026679
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    REV
  • ISSN
    03698009
  • NDL 記事登録ID
    5829578
  • NDL 雑誌分類
    ZM17(科学技術--科学技術一般--力学・応用力学)
  • NDL 請求記号
    Z15-243
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL  J-STAGE 
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