真空技術発展の途を探る　７．　　真空ポンプの排気速度測定とテストドーム

• 辻 泰

  (株) アルバック・コーポレートセンター

書誌事項

タイトル別名

• コウザ シンクウ ギジュツ ハッテン ノ ミチ オ サグル 7 シンクウ ポンプ ノ ハイキ ソクド ソクテイ ト テストドーム
• 7.真空ポンプの排気速度測定とテストドーム

収録刊行物

• 真空

  真空 45 (6), 541-544, 2002

  一般社団法人 日本真空学会

キーワード

• Electrical and Electronic Engineering
• Surfaces, Coatings and Films
• Condensed Matter Physics

詳細情報

• CRID: 1390001204065607424
• NII論文ID: 10009280328
• NII書誌ID: AN00119871
• DOI: 10.3131/jvsj.45.541
• ISSN: 18809413
• ISSN: 05598516
• NDL書誌ID: 6209358
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I6209358
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles