光学素子材料のポリシング条件と方式(第2報)-加工面形状精度について

• 林偉民

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• 2000年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集

  2000年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集 358 2000

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• CRID: 1573105974544294528
• NII Article ID: 10009887039
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