リサイクルが可能な研磨剤 Recyclable slurry for Chemical Mechanical Polishing

この論文をさがす

著者

収録刊行物

  • 砥粒加工学会誌 = Journal of the Japan Society of Grinding Engineers

    砥粒加工学会誌 = Journal of the Japan Society of Grinding Engineers 43(12), 528-531, 1999-12-01

    砥粒加工学会

参考文献:  9件中 1-9件 を表示

  • <no title>

    松下晋司

    月刊Semiconductor World 12, 74, 1996

    被引用文献1件

  • <no title>

    PHILIPOSSIAN A

    The 2nd International CMP Symposium 3, 1996

    被引用文献1件

  • <no title>

    Rodel Nitta

    研磨剤カタログ

    被引用文献1件

  • <no title>

    キャボット

    研磨剤カタログ

    被引用文献1件

  • <no title>

    1999半導体データブック 202, 1998

    被引用文献1件

  • <no title>

    エコビジネスネットワーク編

    98年環境ビジネス最新キーワード114 132, 1997

    被引用文献1件

  • <no title>

    KISHII S

    International Electron Devices Meeting 465, 1995

    被引用文献1件

  • <no title>

    郷田佳史

    電池便覧 66, 1990

    被引用文献1件

  • <no title>

    KISHII S

    Symposium on VLSI Technology 27, 1997

    被引用文献1件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10010080078
  • NII書誌ID(NCID)
    AN10192823
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    REV
  • ISSN
    09142703
  • NDL 記事登録ID
    4926500
  • NDL 雑誌分類
    ZN11(科学技術--機械工学・工業)
  • NDL 請求記号
    Z16-1147
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL 
ページトップへ