CMP排水の処理・リサイクルの現状と今後の課題 CMP Slurry Filtration Technique and Recovery System

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  • 砥粒加工学会誌 = Journal of the Japan Society of Grinding Engineers

    砥粒加工学会誌 = Journal of the Japan Society of Grinding Engineers 43(12), 532-535, 1999-12-01

    砥粒加工学会

参考文献:  5件中 1-5件 を表示

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    土肥俊郎

    半導体坦化CMP技術, 13-35, 1998

    被引用文献1件

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    日本化学学会編

    化学便覧基礎編2 175, 1984

    被引用文献1件

  • <no title>

    土肥俊郎

    クリーンテクノロジー 7(8), 1-6, 1997

    被引用文献1件

  • <no title>

    天池英雄

    化学装置 36(6), 46-48, 1994

    被引用文献1件

  • <no title>

    川根利昭

    Semiconductor World 16(12), 72-74, 1997

    被引用文献1件

被引用文献:  1件中 1-1件 を表示

キーワード

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10010080088
  • NII書誌ID(NCID)
    AN10192823
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    REV
  • ISSN
    09142703
  • NDL 記事登録ID
    4926506
  • NDL 雑誌分類
    ZN11(科学技術--機械工学・工業)
  • NDL 請求記号
    Z16-1147
  • データ提供元
    CJP書誌  CJP引用  NDL 
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