化学・機械複合作用による精密研磨技術 High Precision Polishing Technology Complicated with Chemical Reaction and Mechanical Action

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収録刊行物

  • 砥粒加工学会誌 = Journal of the Japan Society of Grinding Engineers

    砥粒加工学会誌 = Journal of the Japan Society of Grinding Engineers 44(7), 324-326, 2000-07-01

    砥粒加工学会

参考文献:  3件中 1-3件 を表示

  • <no title>

    渡邉純二

    機械学会「超精密加工技術」分科会報告 15, 1983

    被引用文献1件

  • <no title>

    FUSSTETTER H.

    Mat. Res. Soc. Symp. Proc. 386, 97, 1995

    被引用文献2件

  • Chemical processes in polishing

    COOK L. M.

    J. Non-Cryst. Solids 120, 152-171, 1990

    DOI 被引用文献41件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10010080517
  • NII書誌ID(NCID)
    AN10192823
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    REV
  • ISSN
    09142703
  • NDL 記事登録ID
    5392020
  • NDL 雑誌分類
    ZN11(科学技術--機械工学・工業)
  • NDL 請求記号
    Z16-1147
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL 
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