ダイヤモンドの微細成形加工(第2報)-酸化けい素蒸着膜工具の研磨特性-

• 西口隆

収録刊行物

• 精密工学会誌

  精密工学会誌 56 323-, 1990

詳細情報

• CRID: 1571135649815959424
• NII論文ID: 10010080629
• データソース種別:
  • CiNii Articles