均一に配列させたマイクロ多刃工具による仕上げ加工の可能性--異方性エッチングによるマイクロ多刃工具からMAGIC砥石へ

• 梅原 徳次

Bibliographic Information

Other Title

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• 特集 マイクロマシニング・ファブリケーション
• トクシュウ マイクロマシニング ファブリケーション

Journal

• Abrasive technology : 砥粒加工学会誌 : journal of the Japan Society for Abrasive Technology

  Abrasive technology : 砥粒加工学会誌 : journal of the Japan Society for Abrasive Technology 45 (6), 283-287, 2001-06

  東京 : 砥粒加工学会

Keywords

• Polishing
• Arrangement
• Asperity
• Anisotropic Etching
• Roughness

Details

• CRID: 1520290882301834112
• NII Article ID: 10010081143
• NII Book ID: AN10192823
• ISSN: 09142703
• NDL BIB ID: 5784481
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I5784481
• Text Lang: ja
• NDL Source Classification:
  • ZN11(科学技術--機械工学・工業)
• Data Source:
  • NDL
  • CiNii Articles