電子・磁気・光学基板の脆性一延性モード統合仕上げ加工

• 周 立波

• 江田 弘

• 清水 淳

Bibliographic Information

Other Title

• デンシ ジキ コウガク キバン ノ ゼイセイ イチ エンセイ モード トウゴウ シアゲ カコウ

Journal

• Abrasive technology : 砥粒加工学会誌 : journal of the Japan Society for Abrasive Technology

  Abrasive technology : 砥粒加工学会誌 : journal of the Japan Society for Abrasive Technology 45 (6), 304-309, 2001-06

  東京 : 砥粒加工学会

Keywords

• Electronic
• Magnetic
• Optical Substrates
• Fixed-Abrasive
• Flat Surface Finishing
• Preston's Law

Details

• CRID: 1520290882819181952
• NII Article ID: 10010081179
• NII Book ID: AN10192823
• ISSN: 09142703
• NDL BIB ID: 5784672
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I5784672
• Text Lang: ja
• NDL Source Classification:
  • ZN11(科学技術--機械工学・工業)
• Data Source:
  • NDL
  • CiNii Articles