ワイヤソー用水溶性スラリー

• 大石 弘

Bibliographic Information

Other Title

• ワイヤソーヨウ スイヨウセイ スラリー
• 特集 ワイヤソーによるスライシング技術
• トクシュウ ワイヤソー ニ ヨル スライシング ギジュツ

Journal

• Abrasive technology : 砥粒加工学会誌 : journal of the Japan Society for Abrasive Technology

  Abrasive technology : 砥粒加工学会誌 : journal of the Japan Society for Abrasive Technology 45 (8), 375-377, 2001-08

  東京 : 砥粒加工学会

Keywords

• 400nm-diameter silicon ingot
• Multi-wire saw slicing
• Water-soluble slurry
• Polypropyleneglycol
• Bentonite
• Slurry rheology
• Shearing velocity
• Cone and plate viscometer

Details

• CRID: 1520009407619309568
• NII Article ID: 10010081245
• NII Book ID: AN10192823
• ISSN: 09142703
• NDL BIB ID: 5855555
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I5855555
• Text Lang: ja
• NDL Source Classification:
  • ZN11(科学技術--機械工学・工業)
• Data Source:
  • NDL
  • CiNii Articles