高性能水晶振動子の高能率加工法に関する研究(第2報)両面研磨盤による研磨加工

• 横溝 精一

• 長浦 善昭

書誌事項

タイトル別名

• コウセイノウ スイショウ シンドウシ ノ コウノウリツ カコウホウ ニ カンスル ケンキュウ ダイ2ホウ リョウメン ケンマバン ニ ヨル ケンマ カコウ

収録刊行物

• Abrasive technology : 砥粒加工学会誌 : journal of the Japan Society for Abrasive Technology

  Abrasive technology : 砥粒加工学会誌 : journal of the Japan Society for Abrasive Technology 45 (9), 448-453, 2001-09

  東京 : 砥粒加工学会

キーワード

• Dual-face polishing machine
• Chemical etching
• Reactive ion etching
• Polishing
• Quartz oscillator

詳細情報

• CRID: 1520009408483025536
• NII論文ID: 10010081327
• NII書誌ID: AN10192823
• ISSN: 09142703
• NDL書誌ID: 5892845
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I5892845
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZN11(科学技術--機械工学・工業)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles