スタイラスの測定力制御を応用した輪郭・粗さ計測 Contour & roughness measurement using feedback control of measuring force at stylus

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収録刊行物

  • 砥粒加工学会誌 = Journal of the Japan Society of Grinding Engineers

    砥粒加工学会誌 = Journal of the Japan Society of Grinding Engineers 46(10), 489-492, 2002-10-01

    砥粒加工学会

参考文献:  2件中 1-2件 を表示

  • <no title>

    奈良治郎

    表面粗さの測定 評価法 3, 1983

    被引用文献1件

  • <no title>

    (社)精密工学会 超精密位置決め専門委員会

    次世代精密位置決め技術 317, 2000

    被引用文献1件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10010081494
  • NII書誌ID(NCID)
    AN10192823
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    REV
  • ISSN
    09142703
  • NDL 記事登録ID
    6316608
  • NDL 雑誌分類
    ZN11(科学技術--機械工学・工業)
  • NDL 請求記号
    Z16-1147
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL 
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