スタイラスの測定力制御を応用した輪郭・粗さ計測

• 加納 孝文

• 山本 武

Bibliographic Information

Other Title

• スタイラス ノ ソクテイリョク セイギョ オ オウヨウ シタ リンカク アラサ ケイソク
• 特集 最近の表面粗さ計測の動向
• トクシュウ サイキン ノ ヒョウメン アラサ ケイソク ノ ドウコウ

Journal

• Abrasive technology : 砥粒加工学会誌 : journal of the Japan Society for Abrasive Technology

  Abrasive technology : 砥粒加工学会誌 : journal of the Japan Society for Abrasive Technology 46 (10), 489-492, 2002-10

  東京 : 砥粒加工学会

Keywords

• roughness
• measurement force
• feedback control
• stylus
• fiber connector

Details

• CRID: 1520009407377063808
• NII Article ID: 10010081494
• NII Article ID: 10019332926
• NII Book ID: AN10192823
• ISSN: 09142703
• NDL BIB ID: 6316608
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I6316608
• Text Lang: ja
• NDL Source Classification:
  • ZN11(科学技術--機械工学・工業)
• Data Source:
  • NDL
  • CiNii Articles