原子間力顕微鏡(AFM)を用いた微細加工パターンの接着性解析 Adhesion of Micro-lithographic Pattern Analyzed by Using Atomic force Microscope(AFM)

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著者

    • 河合 晃 KAWAI Akira
    • 長岡技術科学大学工学部電気系 Department of Electrical Engineering, Nagaoka University of Technology

収録刊行物

  • 日本接着学会誌 = Journal of the Adhesion Society of Japan

    日本接着学会誌 = Journal of the Adhesion Society of Japan 38(12), 465-470, 2002-12-01

    The Adhesion Society of Japan

参考文献:  6件中 1-6件 を表示

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10010087561
  • NII書誌ID(NCID)
    AN10341672
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    REV
  • ISSN
    09164812
  • NDL 記事登録ID
    6376933
  • NDL 雑誌分類
    ZP16(科学技術--化学・化学工業--高分子化学・高分子化学工業)
  • NDL 請求記号
    Z17-134
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL  J-STAGE 
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