Adhesion of Micro-lithographic Pattern Analyzed by Using Atomic force Microscope(AFM)
Bibliographic Information
- Other Title
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- 原子間力顕微鏡(AFM)を用いた微細加工パターンの接着性解析
- ゲンシカンリョク ケンビキョウ AFM オ モチイタ ビサイ カコウ パターン ノ セッチャクセイ カイセキ
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Journal
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- Journal of The Adhesion Society of Japan
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Journal of The Adhesion Society of Japan 38 (12), 465-470, 2002
The Adhesion Society of Japan
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1390282679251832192
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- NII Article ID
- 10010087561
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- NII Book ID
- AN10341672
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- ISSN
- 21874816
- 09164812
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- NDL BIB ID
- 6376933
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- Text Lang
- ja
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- Data Source
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- JaLC
- NDL
- Crossref
- CiNii Articles