Adhesion of Micro-lithographic Pattern Analyzed by Using Atomic force Microscope(AFM)

• KAWAI Akira

Bibliographic Information

Other Title

• 原子間力顕微鏡(AFM)を用いた微細加工パターンの接着性解析
• ゲンシカンリョク ケンビキョウ AFM オ モチイタ ビサイ カコウ パターン ノ セッチャクセイ カイセキ

Journal

• Journal of The Adhesion Society of Japan

  Journal of The Adhesion Society of Japan 38 (12), 465-470, 2002

  The Adhesion Society of Japan

Details

• CRID: 1390282679251832192
• NII Article ID: 10010087561
• NII Book ID: AN10341672
• DOI: 10.11618/adhesion.38.465
• ISSN: 21874816
• ISSN: 09164812
• NDL BIB ID: 6376933
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I6376933
• Web Site: https://www.jstage.jst.go.jp/article/adhesion/38/12/38_12-3/_pdf
• Text Lang: ja
• Data Source:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles