走査型電子顕微鏡内に設置したナノスケール加工装置(ナノファクトリー)を用いたカーボンナノチューブの切断と先端先鋭化 Nanoscale Engineering of Nanotube Tip in Nanofactory

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著者

    • 秋田 成司 AKITA Seiji
    • 大阪府立大学大学院工学研究科 Department of Physics and Electronics, Graduate School of Engineering, Osaka Prefecture University
    • 根岸 秀樹 NEGISHI Hideki
    • 大阪府立大学大学院工学研究科 Department of Physics and Electronics, Graduate School of Engineering, Osaka Prefecture University
    • 中山 喜萬 NAKAYAMA Yoshikazu
    • 大阪府立大学大学院工学研究科 Department of Physics and Electronics, Graduate School of Engineering, Osaka Prefecture University

抄録

We have developed a nanofactory which is a field emission type scanning electron microscope with build-in three independent stages. The nanofactory enables us in situ manipulation of nanoscale materials such as an individual carbon nanotube. Using the nanofactory, the fabrication of an artificial nanotube-nanocoil has been demonstrated. We have also demonstrated the nanoscale engineering of the nanotube tip in the nanofactory using an electrical breakdown of the nanotube which is caused by the excess current passing through the nanotube. The shape of the nanotube tip depends on the initial contact resistance between the nanotube and the electrode.

収録刊行物

  • 真空

    真空 45(12), 854-857, 2002-12-20

    The Vacuum Society of Japan

参考文献:  11件中 1-11件 を表示

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10010088883
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00119871
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • ISSN
    05598516
  • NDL 記事登録ID
    6412485
  • NDL 雑誌分類
    ZN15(科学技術--機械工学・工業--流体機械)
  • NDL 請求記号
    Z16-474
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL  J-STAGE 
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