超高精度微細加工への挑戦　　制御と計測　　工作機械の精度評価技術の現状と今後の課題

• 清水 伸二

  上智大学 理工学部 機械工学科

書誌事項

タイトル別名

• The State of Evaluation Technique of the Machine Tool Accuracy and its Problem in Future
• カイセツ コウサク キカイ ノ セイド ヒョウカ ギジュツ ノ ゲンジョウ ト コンゴ ノ カダイ

収録刊行物

• 計測と制御

  計測と制御 41 (11), 775-780, 2002

  公益社団法人 計測自動制御学会

キーワード

• 評価技術
• 精度
• 工作機械
• 運動精度
• 熱変位

詳細情報

• CRID: 1390282681494103808
• NII論文ID: 10010415873
• NII書誌ID: AN00072406
• DOI: 10.11499/sicejl1962.41.775
• ISSN: 18838170
• ISSN: 04534662
• NDL書誌ID: 6355919
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I6355919
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • CiNii Articles