シリコン結晶成長プロセスシミュレーションに要求される熱物性値調査

• 福山 博之

• 塚田 隆夫

• 渡邉 匡人

書誌事項

タイトル別名

• シリコン ケッショウ セイチョウ プロセスシミュレーション ニ ヨウキュウ サレル ネツ ブッセイチ チョウサ
• 特集 高温融体の熱物性とシミュレーション
• トクシュウ コウオンユウタイ ノ ネツ ブッセイ ト シミュレーション

収録刊行物

• 熱物性 : 日本熱物性学会会誌, Japan journal of thermophysical properties

  熱物性 : 日本熱物性学会会誌, Japan journal of thermophysical properties 17 (3), 218-222, 2003-07

  東京 : 日本熱物性学会

キーワード

• thermophysical property
• silicon
• crystal growth
• simulation

詳細情報

• CRID: 1520290883321709824
• NII論文ID: 10011155220
• NII書誌ID: AN10064743
• ISSN: 0913946X
• NDL書誌ID: 6695760
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I6695760
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZM35(科学技術--物理学)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles