高周波スパッタリング法によるNi‐イットリア安定化ジルコニアサーメット燃料極を用いた薄膜固体酸化物燃料電池の特性

  • 掛山 智哉
    大阪工業大学工学部電気電子システム工学科
  • 長田 昭義
    大阪工業大学工学部電気電子システム工学科

書誌事項

タイトル別名
  • Property of Solid Oxide Fuel Cell Having a Thin YSZ Electrolyte Film Grown on Porous Ni-YSZ Cermet Anode by RF Magnetron Sputtering
  • ソクホウ コウシュウハ スパッタリングホウ ニ ヨル Ni イットリア アンテイカ ジルコニアサーメット ネンリョウキョク オ モチイタ ハクマク コタイサンカブツ ネンリョウ デンチ ノ トクセイ

この論文をさがす

抄録

Solid oxide fuel cell (SOFC) having a thin yttria stabilized zirconia (YSZ) electrolyte film was prepared on the anode electrode of a porous Ni-YSZ cermet substrate by the RF magnetron sputtering growth. The constitutional YSZ films were characterized based on dependence on the substrate temperature and sputtering time. A thin YSZ film grown at substrate temperature of 400°C indicated a crystal structure similar to the bulk electrolyte one by the diffusion growth in the film and conductivity of the film also increased with increasing substrate temperature. Terminal voltage at 1000°C of an SOFC having thin YSZ film with 9 decreased with operating time, because YSZ electrolyte was deformed to crystal structure with many pores by the thermal energy of the operating temperature.

収録刊行物

  • 真空

    真空 46 (6), 524-528, 2003

    一般社団法人 日本真空学会

被引用文献 (2)*注記

もっと見る

参考文献 (5)*注記

もっと見る

詳細情報

問題の指摘

ページトップへ