パルスレーザー堆積法でプルームに磁場を印加して作製したＡｌ－Ｚｎ－Ｏ系透明導電膜

• 安倉 秀明

  大阪産業大学工学部電気電子工学科

• 鈴木 晶雄

  大阪産業大学工学部電気電子工学科

• 青木 孝憲

  大阪産業大学工学部電気電子工学科

• 松下 辰彦

  大阪産業大学工学部電気電子工学科

• 沖中 広和

  大阪産業大学工学部電気電子工学科

• 甫木 茂靖

  大阪産業大学工学部電気電子工学科

• 奥田 昌宏

  大阪府立大学工学部電子物理工学科

書誌事項

タイトル別名

• Transparent Conducting Al-Zn-O Thin Films Prepared by Pulsed Laser Deposition in Magnetic Field Perpendicular to the Plume
• ソクホウ パルスレーザー タイセキホウ デ プルーム ニ ジバ オ インカ シテ サクセイ シタ Al Zn Oケイ トウメイ ドウデン マク

抄録

ZnO doped with 2 wt% and 1 wt% Al₂O₃ (AZO) films were deposited on glass substrates by pulsed laser deposition method. In all experiments, repetition rates of 10 Hz, the energy density of 0.752 J/cm², and an ablation time of 1550 min irrespective of magnetic field. A lowest resistivity of 9.27×10^-5 Ω·cm and an optical transmittance of more than 91% in the visible range of the spectrum were obtained on the film fabricated with the magnetic field. This improvement of the properties with using magnetic field is due to the enhancement of crystallization and crystal grain growth and the improvement of ZnO (0002) orientation.

収録刊行物

• 真空

  真空 46 (10), 752-755, 2003

  一般社団法人 日本真空学会

キーワード

• Electrical and Electronic Engineering
• Surfaces, Coatings and Films
• Condensed Matter Physics

詳細情報

• CRID: 1390001204063376256
• NII論文ID: 10012426326
• NII書誌ID: AN00119871
• DOI: 10.3131/jvsj.46.752
• ISSN: 18809413
• ISSN: 05598516
• ISSN: http://id.crossref.org/issn/05598516
• NDL書誌ID: 6747778
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I6747778
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可