熱フィラメントCVD法による鉄基板上へのダイヤモンドの合成 Synthesis of Diamond on Iron Substrate by Hot-Filament CVD

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抄録

Diamond synthesis onto iron substrate was tried by hot-filament chemical vapor deposition (HFCVD). Diamond can be synthesized at an atmospheric pressure by spraying a source gas onto an iron substrate with a nozzle. Diamond crystal grows to a size of about 20μm in 180 min. Diamond synthesized by the present method contains only a small amount of non-diamond carbon. Diamond synthesis on a silicon wafer is also enhanced by spraying a source gas onto a substrate like an iron case.

収録刊行物

  • 表面技術 = The journal of the Surface Finishing Society of Japan

    表面技術 = The journal of the Surface Finishing Society of Japan 54(10), 689-692, 2003-10-01

    The Surface Finishing Society of Japan

参考文献:  6件中 1-6件 を表示

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    DOI 被引用文献1件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10012452792
  • NII書誌ID(NCID)
    AN1005202X
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • ISSN
    09151869
  • NDL 記事登録ID
    6741900
  • NDL 雑誌分類
    ZP41(科学技術--金属工学・鉱山工学)
  • NDL 請求記号
    Z17-291
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL  J-STAGE 
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