水蒸気添加プラズマ溶解法による溶融シリコン中のボロン除去

  • 中村 尚道
    JFEスチール株式会社スチール研究所
  • 馬場 裕幸
    JFEスチール株式会社スチール研究所 JFEスチール株式会社太陽電池原料事業推進部
  • 阪口 泰彦
    JFEスチール株式会社スチール研究所
  • 日和佐 章一
    JFEスチール株式会社太陽電池原料事業推進部
  • 加藤 嘉英
    JFEスチール株式会社スチール研究所

書誌事項

タイトル別名
  • Boron Removal in Molten Silicon with Steam Added Plasma Melting Method
  • スイジョウキ テンカ プラズマ ヨウカイホウ ニ ヨル ヨウユウ シリコン チュウ ノ ボロン ジョキョ

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抄録

Boron removal in molten silicon with a steam added plasma melting method was investigated as an important part of the sequential metallurgical process to produce highly purified solar grade silicon (SOG-Si) from commercially available metallurgical grade silicon (MG-Si). Experiments were carried out from laboratory to industrial scale and silicon amount used per charge was varied from 0.6 to 300 kg. Boron was stably removed to permissible boron content for SOG-Si of [B]<0.1 mass ppm. Deboronization rate was proportional to steam content, 3.23th power of hydrogen content in plasma gas, boron content in molten silicon and area of dimple formed by plasma gas jet, and inversely proportional to the mass of molten silicon. An application of the thermodynamics leads to preferential boron oxidation in molten silicon due to higher temperature, which showed that this plasma method capable of locally heightening the temperature of the reaction surface was advantageous in principle.

収録刊行物

  • 日本金属学会誌

    日本金属学会誌 67 (10), 583-589, 2003

    公益社団法人 日本金属学会

被引用文献 (3)*注記

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参考文献 (16)*注記

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