極浅領域の深さ方向分析多層BNデルタドープ標準物質とそれによるスパッタ速度変化の評価 Multiple BN Delta-layers as the Raference Material for Ultra-shallow Depth Profiling and Evaluation of the Sputtering Rate Variation

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収録刊行物

  • 真空

    真空 46(11), 772-776, 2003-11-20

    The Vacuum Society of Japan

参考文献:  8件中 1-8件 を表示

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    DOWSETT M. G.

    Appl. Surf. Sci. 203-204, 5, 2003

    DOI 被引用文献1件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10012512309
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00119871
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    REV
  • ISSN
    05598516
  • NDL 記事登録ID
    6762388
  • NDL 雑誌分類
    ZN15(科学技術--機械工学・工業--流体機械)
  • NDL 請求記号
    Z16-474
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL  J-STAGE 
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