恒温式クリーンルームにおける精密温度制御

• 高橋 幹雄

• 奥田 正直

Bibliographic Information

Other Title

• コウオンシキ クリーンルーム ニ オケル セイミツ オンド セイギョ
• 特集 特殊環境空調
• トクシュウ トクシュ カンキョウ クウチョウ

Journal

• 冷凍 = Refrigeration

  冷凍 = Refrigeration 78 (913), 879-884, 2003-11

  東京 : 日本冷凍空調学会

Keywords

• 空調機
• 半導体
• Clean room
• Temperature
• Control
• Air-conditioning machine
• Semiconductor

Details

• CRID: 1520853832325787392
• NII Article ID: 10012561587
• NII Article ID: 80016255626
• NII Book ID: AN00254367
• ISSN: 00343714
• NDL BIB ID: 6769579
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I6769579
• Text Lang: ja
• NDL Source Classification:
  • ZN14(科学技術--機械工学・工業--熱機関)
• Data Source:
  • NDL
  • CiNii Articles