中性粒子ビームによるダメージフリー高精度プロセス Damage-free and precise processes using neutral beams

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著者

    • 寒川 誠二 SAMUKAWA Seiji
    • 東北大学・流体科学研究所・流体融合研究センター Transdisciplinary Fluid Integration Research Center, Institute of Fluid Science, Tohoku University

収録刊行物

  • 應用物理

    應用物理 72(12), 1536-1540, 2003-12-10

    応用物理学会

参考文献:  15件中 1-15件 を表示

  • <no title>

    NOZAWA T.

    Jpn. J. Appl. Phys. 34, 2107, 1995

    被引用文献20件

  • <no title>

    KINOSHITA T.

    J.Vac.Sci.Technol. B 14, 560, 1996

    被引用文献8件

  • <no title>

    OOTERA H.

    Jpn.J.Appl.Phys. 33, 6109, 1993

    被引用文献6件

  • <no title>

    OHTAKE H.

    Proc. 17 Dry Process Symp., 1995

    被引用文献1件

  • <no title>

    CHEUNG K. P.

    IEEE Device Lett. 16, 220, 1995

    被引用文献3件

  • <no title>

    CARRERE J-P.

    Proc. Int. Symp. on Plasma Process-Induced Damage 164, 2000

    被引用文献1件

  • <no title>

    DAO T.

    Proc. Int. Symp. on Plasma Process-Induced Damage 54, 1996

    被引用文献1件

  • <no title>

    JOSHI M.

    Proc. Int. Symp. on Plasma Process-Induced Damage 157, 2000

    被引用文献1件

  • <no title>

    CISMURA C.

    Proc. Int. Symp. on Plasma Process-Induced Damage 192, 1999

    被引用文献1件

  • <no title>

    SHIMOKAWA F.

    J. Vac. Sci. & Technol. A10, 1352, 1992

    被引用文献3件

  • <no title>

    SAMUKAWA S.

    J. Vac. Sci. Technol. A20(5), 1566, 2002

    被引用文献1件

  • <no title>

    SAMUKAWA S.

    Jpn. J. Appl. Phys. 40, L779, 2001

    被引用文献8件

  • <no title>

    SAMUKAWA S.

    Jpn. J. Appl. Phys. 42, L795, 2003

    被引用文献2件

  • <no title>

    WOODWORTH J. R.

    J. Vac. Sci. & Technol., A A17, 3209, 1999

    DOI 被引用文献5件

  • <no title>

    MIZUTANI T.

    J. Vac. Sci. & Technol. A6, 1417, 1988

    DOI 被引用文献1件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10012562270
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00026679
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    REV
  • ISSN
    03698009
  • NDL 記事登録ID
    6771534
  • NDL 雑誌分類
    ZM17(科学技術--科学技術一般--力学・応用力学)
  • NDL 請求記号
    Z15-243
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL 
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