Dielectric Properties of Ba(Ti0.85Zr0.15)O3 Film Prepared by Metalorganic Chemical Vapor Deposition

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抄録

Ba(Ti0.85Zr0.15)O3 films were prepared at 973 K on (100)Pt/(100)MgO substrates by metalorganic chemical vapor deposition (MOCVD), and their dielectric properties were investigated. The dielectric constant ($\varepsilon'$) of the film changed depending on the ac electric field ($E_{\text{ac}}$) and frequency at temperatures below 400 K. The $\varepsilon'$ showed a broad maximum at a specific temperature ($T_{\text{M}}$) that decreased from 370 to 330 K with increasing $E_{\text{ac}}$ from $0.15\times 10^{5}$ to $15\times 10^{5}$ V$\cdot$m-1. The film exhibited ferroelectric characteristics with remanent polarization ($2P_{\text{r}}$) of $3\times 10^{-2}$ C$\cdot$m-2 and coercive field ($2E_{\text{C}}$) of $14\times 10^{5}$ V$\cdot$m-1.

収録刊行物

  • Japanese journal of applied physics. Pt. 1, Regular papers & short notes

    Japanese journal of applied physics. Pt. 1, Regular papers & short notes 42(11), 6969-6972, 2003-11-15

    公益社団法人 応用物理学会

参考文献:  21件中 1-21件 を表示

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10012564341
  • NII書誌ID(NCID)
    AA10457675
  • 本文言語コード
    EN
  • 資料種別
    ART
  • 雑誌種別
    大学紀要
  • ISSN
    0021-4922
  • NDL 記事登録ID
    6752765
  • NDL 雑誌分類
    ZM35(科学技術--物理学)
  • NDL 請求記号
    Z53-A375
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL  J-STAGE  JSAP 
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