素子加熱によるMEMS用Si酸化物カンチレバーのスティクション解消

• 小林 泰

  東京工業大学大学院　理工学研究科　機械制御システム専攻

• 伏信 一慶

  東京工業大学大学院　理工学研究科　機械制御システム専攻

書誌事項

タイトル別名

• Stiction Recovery of Silicon Oxide Cantilevers with Heating Elements for MEMS
• ソシ カネツ ニ ヨル MEMSヨウ Si サンカブツ カンチレバー ノ スティクション カイショウ

抄録

Recovery of stiction-failed micro-cantilevers by using electrical heating has been proposed and confirmed for silicon oxide cantilevers. Micro-cantilevers with various lengths have been fabricated by surface micromachining process. Recovery of stiction-failed micro-cantilevers with heating elements is possible on cantilevers made of silicon oxide. By using a thermal model that considers the sum of elastic force and thermoelastic force as restoring force, the freestanding yield after heating is calculated. The theoretical results exhibit qualitative agreement with the experimental data of both silicon oxide and silicon cantilevers. The results suggest validity of the present model, and the feasibility of the proposed device.

収録刊行物

• 電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）

  電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌） 124 (3), 75-80, 2004

  一般社団法人 電気学会

キーワード

• スティクション
• Si酸化物カンチレバー

詳細情報

• CRID: 1390282679437084288
• NII論文ID: 10012646916
• NII書誌ID: AN1052634X
• DOI: 10.1541/ieejsmas.124.75
• ISSN: 13475525
• ISSN: 13418939
• NDL書誌ID: 6868070
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I6868070
• Web Site: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/124/3/124_3_75/_pdf
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可