シンクロトロン放射 (SR) 光による三次元微細加工技術

• 杉山進

収録刊行物

• 塑性加工シンポジウム「マイクロマシンの加工技術」, 2002

  塑性加工シンポジウム「マイクロマシンの加工技術」, 2002 211 21-28, 2002

詳細情報

• CRID: 1570572700136988032
• NII論文ID: 10012704020
• データソース種別:
  • CiNii Articles