ターボ分子ポンプの歴史と展望 Past and Future of the Turbomolecular Pump

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収録刊行物

  • 真空 = JOURNAL OF THE VACUUM SOCIETY OF JAPAN

    真空 = JOURNAL OF THE VACUUM SOCIETY OF JAPAN 47(3), 99-103, 2004-03-20

    The Vacuum Society of Japan

参考文献:  19件中 1-19件 を表示

  • <no title>

    GAEDE W.

    Ann. Der Phys. IV 41, 289, 1923

    被引用文献1件

  • <no title>

    HOLWECK F.

    L'Onde Electrique 21, 497, 1923

    被引用文献1件

  • <no title>

    BECKER W.

    Adv. Vac. Science Tech. 1, 173, 1960

    被引用文献1件

  • <no title>

    HABLANIAN M. H.

    Adv. Vac. Science Tech. 1, 168, 1960

    被引用文献1件

  • <no title>

    沢田雅

    日本機械学会論文集 33, 1456, 1971

    被引用文献1件

  • <no title>

    金戸成

    日本機械学会誌 89, 480, 1986

    被引用文献1件

  • <no title>

    沢田雅

    特許番号681723, 1973

    被引用文献1件

  • <no title>

    MAURICE L.

    Japan J. Appl. Phys. Suppl. 2, Pt 1, 21, 1974

    被引用文献2件

  • <no title>

    沢田雅

    日本機械学会論文集B 31, 3381, 1985

    被引用文献1件

  • <no title>

    樫山工業(株)

    カタログ, 1990

    被引用文献1件

  • <no title>

    真瀬正弘

    真空 33, 627, 1990

    被引用文献1件

  • <no title>

    長岡隆司

    ターボ機械 48, 670, 1995

    被引用文献1件

  • <no title>

    沢田雅

    日本機械学会論文集B 58, 3666, 1992

    被引用文献2件

  • 磁気軸受とターボ分子ポンプ

    石沢 資男 , 三木 正晴 , 小高 博文 , 浦野 智秋

    真空 31(2), 87-93, 1988

    J-STAGE 被引用文献1件

  • ダブルねじ溝式真空ポンプの試作

    井口 昌司 , 沢田 雅 , 杉山 渉 , 渡辺 光徳

    日本機械学会論文集. B編 00063(00608), 1292-1296, 1997-04-25

    参考文献2件 被引用文献1件

  • <no title>

    FRIESEN S. W.

    Rev. Sci. Instr. 11, 362, 1940

    DOI 被引用文献2件

  • <no title>

    FRANK R.

    Vakuum Technik 25, 141, 1976

    被引用文献1件

  • <no title>

    DUVAL P.

    J. Vac. Sci. Technol. A 6, 1187, 1988

    被引用文献3件

  • ターボ型ドライポンプの排気特性

    松本 隆夫

    ターボ機械 23(11), 664-669, 1995-11-10

    参考文献3件 被引用文献1件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10012866916
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00119871
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    REV
  • ISSN
    05598516
  • NDL 記事登録ID
    6929239
  • NDL 雑誌分類
    ZN15(科学技術--機械工学・工業--流体機械)
  • NDL 請求記号
    Z16-474
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL  J-STAGE 
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