電子線誘起蒸着によるナノ構造作製 Nano-fabrication using an Electron Beam-induced Deposition Technique

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著者

    • 古屋 一夫 FURUYA Kazuo
    • 物質・材料研究機構 ナノマテリアル研究所 Nano-Materials Laboratory, National Institute for Materials Science

収録刊行物

  • 熱処理 = Journal of The Japan Society for Heat Treatment

    熱処理 = Journal of The Japan Society for Heat Treatment 44(2), 67-68, 2004-04-28

参考文献:  11件中 1-11件 を表示

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10012932110
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00199575
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    OTR
  • ISSN
    02880490
  • データ提供元
    CJP書誌 
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