Dislocation propagation in GaN films formed by epitaxial lateral overgrowth

• Akira Sakai

• Haruo Sunakawa

• Akitaka Kimura

書誌事項

タイトル別名

• Recent Development in the Electron Microscopy of Semiconductors
• Recent Development in the Electron Microscopy of Semiconductors

収録刊行物

• Journal of electron microscopy

  Journal of electron microscopy 49 (2), 323-330, 2000

  Oxford : Published for the Japanese Society of Electron Microscopy by Oxford University Press

キーワード

• dislocation
• GaN
• ELO
• HVPE
• Burgers vector

詳細情報

• CRID: 1522262180642094080
• NII論文ID: 10013017314
• NII書誌ID: AA00697060
• ISSN: 00220744
• NDL書誌ID: 5363563
• Web Site: http://id.ndl.go.jp/bib/5363563
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I5363563
• 本文言語コード: en
• NDL 雑誌分類:
  • ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles